Mae gan y lamp germicidal uwchfioled ddwy brif linell sbectrwm allyriadau: 254nm a 185nm. mae hyrddod uwchfioled 254nm yn lladd bacteria drwy orymbelydredd DNA microorganebau. Gall hyrddod uwchfioled 185nm droi O2 yn yr aer yn O3 (oson). Mae gan oson effaith ocsideiddio gref a gall ladd bacteria yn effeithiol. I luosogi a diheintio mewn llinell syth, mae anfantais i ben marw.
Wrth fireinio gwydr cwartz, os ychwanegir digon o elfen ditaniwm (Ti), gellir torri'r hyrddod uwchfioled sy'n pasio drwyddo o dan 200nm, ac yn y bôn nid oes unrhyw effaith ar drosglwyddo hyrddod uwchfioled 254nm. Gall rheolaeth briodol o faint o ditaniwm a ychwanegir reoli'n effeithiol faint o ymbelydredd uwchfioled 185nm. Yn ôl y nodwedd hon, gellir cynhyrchu tri math o lampau germicidal uwchfioled, megis oson isel (dim oson), osôn, ac oson uchel.
